Roll to Roll

AcuReel 300

Roll to Roll Fully-Automatic

AcuReel是一款适用于300mm板宽的单面和双面卷对卷UV曝光机。

高解析、高对位精度和高产能是AcuReel的亮点。

 

主要特点
制程应用 内层,外层/防焊(有保护膜收放系统)/ PSR
曝光面积 最大300 x 650mm | 11.8” x 25.6”
解析度 15µm/15µm |0.6mil/0.6mil (线宽线距)
阻焊桥最小可达 50µm | 2mi
光源 LedLight™(LED光源)
ColliLight™ 5kW & 8kW (5KW,8KW的平行光)
'板厚 可达15μm/0.6mils
'光源 LED光源
LedLight™
'平行半角 ≤ 1.6°
'干膜光阻 适用于各种类型的干膜
'防焊(有保护膜收放系统)/PSR 适用于各种类型的油墨:绿色,白色,蓝色,红色,黑色…
'曝光模式 双面或单面
'对位精度 ±5μm | 0.2mil 底片/底片 (真空后)
±8μm | 0.32mil 底片/基板 (真空后)
±3μm | 0.12mil 重复对位精度 (真空后)
'CCD摄像头 内层制程和外层制程配置4个CCD摄像头
防焊(有保护膜收放系统) /PSR配置4+4个CCD摄像头
'产能 每天高达8000片
'料号更换 更换底片和参数设置≤ 5 分钟
'设备机壳 不锈钢机壳
'软件 采用17”触控屏Altix Suite人机界面
'空气净化 采用Hepa filter class 100高效过滤器
'板厚 可达15μm/0.6mils
'光源 LED光源 LedLight™
Collilight
'平行半角 ≤ 1.6°
'干膜光阻 适用于各种类型的干膜
'防焊(有保护膜收放系统) /PSR 适用于各种类型的油墨:绿色,白色,蓝色,红色,黑色…
'曝光模式 双面或单面
'对位精度 ±5μm | 0.2mil 底片/底片 (真空后)
±8μm | 0.32mil 底片/基板 (真空后)
±3μm | 0.12mil 重复对位精度 (真空后)
'CCD摄像头 内层制程和外层制程配置4个CCD摄像头
防焊(有保护膜收放系统) /PSR配置4+4个CCD摄像头
'产能 每天高达8000片
'料号更换 更换底片和参数设置≤ 5 分钟
'设备机壳 不锈钢机壳
'软件 采用17”触控屏Altix Suite人机界面
'空气净化 采用Hepa filter class 100高效过滤器
'语言 英语,简体中文,繁体中文,韩文,德文,法文…
'制程应用 内层,外层,防焊/ PSR
'曝光面积 最大 300 x 650mm | 11.8” x 25.6”
'解析度 15µm/15µm |0.6mil/0.6mil (线宽线距)
阻焊桥最小可达 50µm | 2mi
'光源 LedLight™(LED光源)
5KW,8KW的平行光

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AcuReel 550

Roll to Roll Fully-Automatic

AcuReel是一款适用于550mm宽幅的单面和双面卷对卷UV曝光机。

高解析、高对位精度和高产能是AcuReel的亮点

主要特点
制程应用 内层,外层/防焊(有保护膜收放系统) / PSR
曝光面积 最大550 x 650mm | 21.6” x 25.6”
解析度 干膜 : 15µm/15µm |0.6mil/0.6mil (线宽线距)
阻焊桥最小可达 50µm | 2mi
光源 LedLight™(LED光源)
ColliLight™ 5kW & 8kW (5KW,8KW的平行光)
'板厚 可达15µm | 0. 6mil
'光源 LED光源
Collilight ™平行光
'平行半角 ≤ 1.6°
'干膜光阻 适用于各种类型的干膜
'防焊/PSR/片对卷 适用于各种类型的油墨:绿色,白色,蓝色,红色,黑色…
'曝光模式 双面或单面
'对位精度 ±5μm | 0.2mil 底片/底片 (真空后)
±8μm | 0.32mil 底片/基板 (真空后)
±3μm | 0.12mil 重复对位精度 (真空后)
'CCD摄像头 内层制程和外层制程配置4个CCD摄像头
防焊(有保护膜收放系统) /PSR配置4+4个CCD摄像头
'产能 每天高达8000片
'料号更换 5分钟内完成更换底片,清洁和参数设置
'空气净化 采用Hepa filter class 100高效过滤器
'板厚 可达15µm | 0. 6mil
'光源 LedLight™平行光
'平行半角 ≤ 1.6°
'干膜光阻 适用于各种类型的干膜
'防焊/PSR/片对卷 适用于各种类型的油墨:绿色,白色,蓝色,红色,黑色…
'曝光模式 双面或单面
'对位精度 ±5μm | 0.2mil 底片/底片 (真空后)
±8μm | 0.32mil 底片/基板 (真空后)
±3μm | 0.12mil 重复对位精度 (真空后)
'CCD摄像头 内层制程和外层制程配置4个CCD摄像头
防焊(有保护膜收放系统) /PSR配置4+4个CCD摄像头
'产能 每天高达8000片
'料号更换 5分钟内完成更换底片,清洁和参数设置
'空气净化 采用Hepa filter class 100高效过滤器
'
'制程应用 内层,外层,防焊/ PSR
'曝光面积 最大 550mm x 650mm | 21.6” x 25.6”

'解析度 15µm/15µm |0.6mil/0.6mil (线宽线距)
阻焊桥最小可达 50µm | 2mi
'光源 LedLight™(LED光源)
5KW,8KW的平行光

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Adix RtR

Roll to Roll Fully-Automatic

Adix卷对卷是专为单面卷对卷曝光系统设计的一个全自动直接成像设备,具备高解析、高对位精度和高产能的特点。

主要特点
制程应用 内层,外层/防焊(有保护膜收放系统)/ PSR
曝光面积 最大610 x 685mm |24” x 30”
解析度 干膜 : 20µm/20µm |0.8mil/0.8mil (线宽,线距)
阻焊桥最小可达 25µm | 1mi
光源 ALDS-Power4+™ 极短的数据预处理时间
每个成像头配置4个高功率 UV –LED光源
'板厚 30µm 到 500µm
'光源 ALDS-Power4+™
'边缘粗糙度 ±1,5µm | ±0.05mil
'景深 ±100µm
'自动对焦 每个成像头配动态自动对焦传感器,行程 ±8mm
'曝光光谱 从355nm到405nm
'对位精度 ±8μm | 0.3mil (对位精准度)
'CCD摄像头 影像对位:2+5个摄像头
影像校准:1个摄像头
'产能 30mJ/cm² 曝光能量为基准, 成像头Power4+, LLS25 RLT V2
(宽610mm x (长) 610mm 成像尺寸, 用 6 个成像头 (2): 2 面/分
(宽)610mm x (长) 305mm 成像尺寸,用 6 个成像头 (2): 3面/分
'收放卷 自动真空台面根据板尺寸,夹板机构
自动调节板牵引装置
板子手动靠边放置

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